教師著作
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Item 具有抗反射表面的太陽能電池及其製造方法(2008-01-01) 楊啟榮; 李幸憲; 黃茂榕Item 一種懸空結構的製造方法(2009-06-21) 楊啟榮; 林明憲; 李明承一種懸空結構的製造方法,包含下列步驟:(1)提供一矽基板;(2)定義一圖形於該矽基板上,該圖形則具有一保留區與一蝕刻區;(3)以電化學蝕刻,是對該矽基板通以一電場並輔以一蝕刻液進行蝕刻,其中對該電場施以一第一電流密度,將該蝕刻區下方的矽基板去除,致使該保留區下方即形成一預備懸空結構,則該預備懸空結構具有一底部與該矽基板連接;以及(4)改變該電場的電流密度至一高於該第一電流密度的第二電流密度,藉以去除該底部,而使該預備懸空結構懸空於該矽基板上而成為一懸空結構。Item 一種陽極接合供電方法(2006-01-01) 楊啟榮; 張淑芳; 吳俊緯; 李致輝Item 一種模組化壓床設備(2010-10-01) 楊啟榮; 范志文; 黃孟書; 吳俊緯一種運用於微機電作業的模組化壓床設備，包含：一加工模組，具有一容置體、一加工基座與，一受壓連動裝置，其中該容置體更具有一通氣孔，透過該通氣孔將該容置體內之氣體排出，使該容置體內呈真空狀，而該加工基座設置於該容置體內，該受壓連動裝置設置於該容置體內而與該加工基座面對面，且伸出該容置體外；以及一壓床本體，具有一加壓裝置以及一結合部，其中該結合部用以容置該加工模組，該加工模組與該結合部相結合並可分離，該加壓裝置施壓於該受壓連動裝置。Item 一種陽極接合方法與設備(2009-04-01) 楊啟榮; 吳俊緯一種陽極接合方法，包含下列步驟：(1)提供一矽基板；(2)提供一玻璃板，置放該矽基板上；以及(3)提供一上電極與一下電極，其中該上電極以一預設距離懸空於該玻璃板上，藉電弧為該玻璃板供應電流。Item 類LIGA製程應用於靜電式微馬達光開關之研製(2002-07-31) 楊啟榮本研究採用厚膜光阻製程與微電鑄技術之UV-LIGA製程，製作出低成本之微光開關元件。實驗結果顯示SU-8光阻可為光開關之結構材料，達到簡化製程、降低成本的目的。製作完成的微光開關結構實體之可動結構於釋放後，將針對靜電式致動器的驅動性能予於測試。再者，亦將針對微反射鏡的光學反射品質與光路切換的響應速率作評估分析。Item 合金電鑄技術之研究(2003-12-31) 楊啟榮Item 低成本厚膜光阻製程於微機構驅動式光學開關之研製(2003-07-31) 楊啟榮負型SU-8 厚膜光阻利用一般的微影製程，即可製作高深寬比的微結構。目前SU-8光阻主要是應用於LIGA 電鑄製程之模板、熱壓成形之模仁、微光合成形、光波導、微流體應用流道或微機械結構等之材料，然而尚未有直接將SU-8 光阻作為微致動器材料的研究。本計畫目的即是利用SU-8 厚膜光阻微影製程，低成本且快速地開發微光學應用之微反射鏡式光開關元件。全SU-8 厚膜光阻的製程與微結構，其優點為低成本、可降低微反射鏡因組裝所造成的誤差，利用間接驅動方式增加微反射鏡的作動行程，以增進光路切換的適用範圍。製作完成之微反射鏡式光開關，採用靜電式致動器，經局部結構釋放且鍍金屬膜後，成功地以AC 125 伏特電壓驅動；微反射鏡對光波長632 nm 之可光源與光波長1550 nm 之紅外光源皆有反射效能， 其反射效率分別為17.6% 及20.5% 。Item KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用(II)(2001-07-31) 李育德; 楊啟榮Item KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用(2000-07-31) 李育德; 楊啟榮