一種陽極接合方法與設備

Abstract

一種陽極接合方法，包含下列步驟：(1)提供一矽基板；(2)提供一玻璃板，置放該矽基板上；以及(3)提供一上電極與一下電極，其中該上電極以一預設距離懸空於該玻璃板上，藉電弧為該玻璃板供應電流。