一種陽極接合方法與設備

dc.contributor	國立臺灣師範大學機電工程學系	zh_tw
dc.contributor.author	楊啟榮	zh_tw
dc.contributor.author	吳俊緯	zh_tw
dc.date.accessioned	2014-10-30T09:36:24Z
dc.date.available	2014-10-30T09:36:24Z
dc.date.issued	2009-04-01	zh_TW
dc.description.abstract	一種陽極接合方法，包含下列步驟：(1)提供一矽基板；(2)提供一玻璃板，置放該矽基板上；以及(3)提供一上電極與一下電極，其中該上電極以一預設距離懸空於該玻璃板上，藉電弧為該玻璃板供應電流。	zh_tw
dc.identifier	ntnulib_tp_E0403_04_021	zh_TW
dc.identifier.uri	http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37048
dc.language	chi	zh_TW
dc.relation	（發明第I 308135）	zh_tw
dc.title	一種陽極接合方法與設備	zh_tw

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