化學氣相沉積石墨烯轉移方式的改良以及元件的製作

dc.contributor	江佩勳	zh_TW
dc.contributor	陳啟東	zh_TW
dc.contributor	Pei-hsun Jiang	en_US
dc.contributor	Chii-dong Chen	en_US
dc.contributor.author	蕭博唐	zh_TW
dc.contributor.author	Po-Tang Hsiao	en_US
dc.date.accessioned	2019-09-05T02:13:03Z
dc.date.available	2019-8-25
dc.date.available	2019-09-05T02:13:03Z
dc.date.issued	2014
dc.description.abstract	在氣相沉積的石墨烯元件製備中，一般都會使用甲基丙烯酸甲酯（Polymethylmethacrylate，PMMA）作為轉移用的中間介質，但如何去除PMMA、光阻等聚合物的殘留物，避免影響石墨烯電性、鍵結等性質，一向是一個重要課題。我們發展出一種製程，透過舉離、壓印等方法盡可能地減少聚合物在製程中的參與，並用以製備石墨烯場效應電晶體、懸浮石墨烯奈米線等元件，並透過電性量測與拉曼光譜驗證石墨烯元件的品質。	zh_TW
dc.description.sponsorship	物理學系	zh_TW
dc.identifier	GN060141009S
dc.identifier.uri	http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN060141009S%22.&%22.id.&
dc.identifier.uri	http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/102579
dc.language	中文
dc.subject	石墨烯	zh_TW
dc.subject	轉印	zh_TW
dc.subject	懸浮元件	zh_TW
dc.subject	化學氣相沉積法	zh_TW
dc.subject	graphene	en_US
dc.subject	transfer	en_US
dc.subject	suspended device	en_US
dc.subject	chemical vapor deposition	en_US
dc.title	化學氣相沉積石墨烯轉移方式的改良以及元件的製作	zh_TW

Collections