化學氣相沉積石墨烯轉移方式的改良以及元件的製作
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Date
2014
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Abstract
在氣相沉積的石墨烯元件製備中，一般都會使用甲基丙烯酸甲酯（Polymethylmethacrylate，PMMA）作為轉移用的中間介質，但如何去除PMMA、光阻等聚合物的殘留物，避免影響石墨烯電性、鍵結等性質，一向是一個重要課題。我們發展出一種製程，透過舉離、壓印等方法盡可能地減少聚合物在製程中的參與，並用以製備石墨烯場效應電晶體、懸浮石墨烯奈米線等元件，並透過電性量測與拉曼光譜驗證石墨烯元件的品質。
Description
Keywords
石墨烯, 轉印, 懸浮元件, 化學氣相沉積法, graphene, transfer, suspended device, chemical vapor deposition