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Titel: 全 SU-8 厚膜光阻之靜電式微夾持器研製
Autoren: 國立臺灣師範大學機電工程學系
楊啟榮
程金保
王服賢
張峻銘
施建富
Erscheinungsdatum: 25-Nov-2005
URI: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36824
Sonstige Kennungen: ntnulib_tp_E0401_02_016
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