Please use this identifier to cite or link to this item: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/102579
Title: 化學氣相沉積石墨烯轉移方式的改良以及元件的製作
Authors: 江佩勳
陳啟東
Pei-hsun Jiang
Chii-dong Chen
蕭博唐
Po-Tang Hsiao
Keywords: 石墨烯
轉印
懸浮元件
化學氣相沉積法
graphene
transfer
suspended device
chemical vapor deposition
Issue Date: 2014
Abstract: 在氣相沉積的石墨烯元件製備中,一般都會使用甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate,PMMA)作為轉移用的中間介質,但如何去除PMMA、光阻等聚合物的殘留物,避免影響石墨烯電性、鍵結等性質,一向是一個重要課題。我們發展出一種製程,透過舉離、壓印等方法盡可能地減少聚合物在製程中的參與,並用以製備石墨烯場效應電晶體、懸浮石墨烯奈米線等元件,並透過電性量測與拉曼光譜驗證石墨烯元件的品質。
URI: http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=%22http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN060141009S%22.&%22.id.&
http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/102579
Other Identifiers: GN060141009S
Appears in Collections:學位論文

Files in This Item:
There are no files associated with this item.


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.