單晶矽非等向性濕式蝕刻之壓力輔助機制特性研究
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 程金保 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊証皓 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 施建富 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 張峻銘 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:05Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:05Z | |
| dc.date.issued | 2005-11-25 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0401_02_015 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36823 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 2005 中國機械工程學會（CSME）第22屆全國學術研討會，E1-013，中壢：中央大學，臺灣。 | zh_tw |
| dc.title | 單晶矽非等向性濕式蝕刻之壓力輔助機制特性研究 | zh_tw |