高溫暨高壓蝕刻機制應用於單晶矽非等向性濕式蝕刻之特性研究
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 程金保 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊証皓 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 施建富 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:19Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:19Z | |
| dc.date.issued | 2005-11-10 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_024 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36988 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 中華民國微系統暨奈米科技協會、南台科技大學主辦。第九屆奈米工程暨微系統技術研討會，台南，南台科技大學，臺灣。 | zh_tw |
| dc.title | 高溫暨高壓蝕刻機制應用於單晶矽非等向性濕式蝕刻之特性研究 | zh_tw |