KrF準分子雷射於SU-8光阻之光刻特性與應用研究

dc.contributor國立臺灣師範大學機電工程學系zh_tw
dc.contributor.author楊啟榮zh_tw
dc.contributor.author謝佑聖zh_tw
dc.contributor.author唐隆綾zh_tw
dc.contributor.author黃信瑀zh_tw
dc.date.accessioned2014-10-30T09:36:18Z
dc.date.available2014-10-30T09:36:18Z
dc.date.issued2004-11-26zh_TW
dc.identifierntnulib_tp_E0403_02_019zh_TW
dc.identifier.urihttp://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36983
dc.languagechizh_TW
dc.relation2004 中國機械工程學會(CSME)第21屆全國學術研討會論文集,高雄:中山大學,臺灣。zh_tw
dc.titleKrF準分子雷射於SU-8光阻之光刻特性與應用研究zh_tw

Files

Collections