KrF準分子雷射於SU-8光阻之光刻特性與應用研究
dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
dc.contributor.author | 謝佑聖 | zh_tw |
dc.contributor.author | 唐隆綾 | zh_tw |
dc.contributor.author | 黃信瑀 | zh_tw |
dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:18Z | |
dc.date.available | 2014-10-30T09:36:18Z | |
dc.date.issued | 2004-11-26 | zh_TW |
dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_019 | zh_TW |
dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36983 | |
dc.language | chi | zh_TW |
dc.relation | 2004 中國機械工程學會(CSME)第21屆全國學術研討會論文集,高雄:中山大學,臺灣。 | zh_tw |
dc.title | KrF準分子雷射於SU-8光阻之光刻特性與應用研究 | zh_tw |