近場光學顯微術運用於DVD光碟片奈米記錄點影像之研究

Abstract

本論文是將近場光學顯微術運用於DVD光碟片奈米記錄點影像之研究上。目標是在DVD光碟片上寫下奈米記錄點並成功讀取出其光學影像。奈米記錄點的寫入是使用動態測試儀(DDU-1000)寫點，配合導電式原子力顯微鏡(C-AFM)來確認記錄點大小。接著使用NT-MDT之掃探式近場光學顯微儀(NSOM)來擷取奈米記錄點之光學影像。 首先我們研究奈米記錄點的寫入。而寫入記錄點的樣品為市售的DVD光碟片。接著利用動態測試儀(DDU-1000)，在光碟片記錄層寫下記錄點。藉由在記錄層上改變不同寫入功率、寫入週期及寫入時間來縮小記錄點。並且由C-AFM得到其記錄層的導電影像，來確認奈米記錄點之寫入。 因為傳統光學顯微術會受到繞射的影響，無法獲得小於繞射極限的光學影像。而近場光學顯微術能夠突破繞射極限獲得更好的光學解析度，所以我們使用近場光學顯微術來量測所寫入的奈米記錄點。藉由近場光學顯微術，我們成功的獲得小於繞射極限的奈米記錄點之光學影像，而最小的點可達120奈米。 總結來說在此篇論文中，我們成功的在DVD光碟片上寫下奈米記錄點，並利用近場光學顯微術獲得奈米記錄點之影像。