表面聲波生化感測器原理與應用技術

Abstract

隨著通訊產業的蓬勃發展，表面聲波元件在通訊產業應用最為顯著，因表面聲波濾波器具有體積小、重量輕、低成本、製程與 IC 技術相容性高及高性能濾波功能等優點，並且可以針對各項需求選用不同的壓電材料，製成適用不同波段的濾波器，是目前無線通訊系統和手機的關鍵零組件。除了在訊號處理方面表現突出之外，近十年來，表面聲波元件以其高質量靈敏度的優異特性，更進一步應用於生化感測領域。本文將針對生化感測之表面聲波元件作一詳細介紹，首先簡介表面聲波元件的發展及原理，並敘述各種不同聲波型式之表面聲波感測元件的波傳遞方式、質量靈敏度、應用實例、製作與量測方式，以及氧化鋅薄膜在拉福波感測元件之應用。