TMAH溶液中界面活性劑對異方性單晶矽蝕刻特性之探討
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 陳柏穎 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊証皓 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 邱源成 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 李榮宗 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:17Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:17Z | |
| dc.date.issued | 2003-11-15 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_008 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36972 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 第三屆精密機械製造研討會暨國科會機械固力學門與自動化學門整合型計畫研究成果發表會，A02-12，高雄：中山大學，臺灣。 | zh_tw |
| dc.title | TMAH溶液中界面活性劑對異方性單晶矽蝕刻特性之探討 | zh_tw |