新型紫外光厚膜光阻開發與應用
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 謝建文 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 謝佑聖 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 李育德 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:16Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:16Z | |
| dc.date.issued | 2004-06-01 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_01_011 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36954 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.publisher | 中華民國微系統暨奈米科技協會 | en_US |
| dc.relation | 微系統暨奈米科技協會會刊，11，71-92。 | zh_tw |
| dc.subject.other | 紫外光厚膜光阻 | zh_tw |
| dc.subject.other | LIGA製程 | zh_tw |
| dc.title | 新型紫外光厚膜光阻開發與應用 | zh_tw |