整合奈米球微影及光輔助電化學蝕刻之高深寬比奈米柱狀陣列製作技術
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 黃茂榕 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 湯杜翔 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 劉榮德 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:19Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:19Z | |
| dc.date.issued | 2005-11-10 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_026 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36990 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 中華民國微系統暨奈米科技協會、南台科技大學主辦。第九屆奈米工程暨微系統技術研討會，台南，南台科技大學，臺灣。 | zh_tw |
| dc.title | 整合奈米球微影及光輔助電化學蝕刻之高深寬比奈米柱狀陣列製作技術 | zh_tw |