超音波振盪於TMAH溶液中對異方性矽蝕刻特性之影響

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Date

2003-11-15

Authors

楊啟榮
陳柏穎
鄭兆珉
邱源成
李榮宗

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http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36973

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