感應耦合電漿離子蝕刻技術
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 林郁欣 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 徐永裕 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 胡一君 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 周曉宇 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:22Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:22Z | |
| dc.date.issued | 2005-03-09 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_03_003 | zh_TW |
| dc.identifier.isbn | 978-957-017-468-7 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37026 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.publisher | 行政院國家科學委員會精密儀器發展中心 | zh_tw |
| dc.relation | 國科會精密儀器中心編。微機電系統技術與應用(上、下冊)，210-225。 | zh_tw |
| dc.title | 感應耦合電漿離子蝕刻技術 | zh_tw |