應用於微光開關之SU-8厚膜光阻微結構與致動器之研製
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊智仲 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 趙俊傑 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 林郁欣 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:18Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:18Z | |
| dc.date.issued | 2003-12-05 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_016 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36980 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 2003 中國機械工程學會（CSME）第20屆全國學術研討會，E01-16，台北：台灣大學，臺灣。 | zh_tw |
| dc.title | 應用於微光開關之SU-8厚膜光阻微結構與致動器之研製 | zh_tw |