利用脈衝雷射沉積法製作階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計
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Date
2009
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Abstract
本實驗使用的是階梯式的基座來製作SQUID magnetometer，其優點在其單晶取得較容易且單晶基板能大幅降低成本，我們的實驗使用尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶( SrTiO3)(001)基板，經黃光製程使其形成階梯(step-edge)，之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製高溫超導薄膜，材料為釔鋇銅氧，鍍上臨界溫度90 K以上的超導薄膜，經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作，之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。
在本論文中，我們成功製作出階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計，樣品在液態氮溫度(約77.4 K)下量測出之臨界電流Ic約60~70μA左右，常態電阻(Rn)約1~3Ω間，而電壓-磁場訊號最大可達32μV，雜訊方面，在屏蔽的環境下，white noise可達到10 ~ 20 μΦ0/Hz1/2，等效面積約等於0.16 mm2，磁場敏感度在高頻1 KHz下 129 ， 代表我們所製作出的SQUID，已達到接近世界級的水準。
Description
Keywords
超導量子干涉儀磁量計, 階梯