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Title: 懸浮石墨烯奈米元件製作與量測
Authors: 江佩勳
陳啟東
梁伯維
Keywords: 石墨烯
奈米元件
懸浮元件
電晶體
Issue Date: 2014
Abstract: 石墨烯具極高的載子遷移率,可望成為與矽互補的明星材料。本實驗發展了一種懸浮石墨烯元件的製作方法,利用金屬鉻作為支撐層來轉移石墨烯,取代傳統的 PMMA 轉移方法,並製作多種尺寸的石墨烯電晶體,可以利用側閘極電壓改 變元件的載子密度。其中300 nm 寬 100 nm 長的石墨烯元件,表現了大尺寸的石墨烯的傳輸性質;60 nm 寬 80 nm 長的石墨烯元件,顯示源極與汲極端偏壓變化會改變汲極端的傳輸特性;50 nm 長 6 nm 寬的石墨烯元件,表現了傳統半金氧場效電晶體的性質,其低溫下的電流開關比可到 600,並顯現出因寬度侷限而打開的能隙。
URI: http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=%22http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN060141001S%22.&%22.id.&
http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/102576
Other Identifiers: GN060141001S
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