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Title: 運用乾式轉印法製作二維材料元件
Dry transfer of two-dimensional materials for device fabrication.
Authors: 陳啟東
江佩勳
Chen, Chii-Dong
Jiang, Pei-Hsun
李啟安
Lee, Chi-An
Keywords: 石墨烯
拓樸絕緣體
二硫化鉬
PDMS
量子霍爾效應
Issue Date: 2016
Abstract: 傳統的二維材料轉印中分為濕式轉印以及乾式轉印,濕式轉印一般都會使用甲基丙烯酸甲酯(Polymethylemthacrylate;PMMA)作為轉印媒介,但此方式往往困擾於去除PMMA光阻聚合物時,光阻殘留液體影響到二維材料的電性以及鍵結等特性。而傳統乾式轉印法所使用的膠帶以及其聚合物也往往汙染樣品,且無法轉印置所需的區域。本文改以聚二甲基矽氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)作為剝離與轉印二維材料的媒介,提供了全程從剝離與轉印,完全乾式的轉印形式。本文運用此技術應用於轉印石墨烯、拓樸絕緣體(Bi_2 Se_3)以及二硫化鉬(MoS_2)製作成場效電晶體元件,且製備石墨烯霍爾元件以及以氮化硼為基底的石墨烯場效電晶體,並以拉曼光譜檢驗樣品經轉印後仍保持與轉印前良好與相同的品質,並量測到Shubnikov-de Hass effect。
URI: http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=%22http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22G060341030S%22.&%22.id.&
http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/102487
Other Identifiers: G060341030S
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