學位論文

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Subject: search.filters.subject.Fringe Projection Profilometry

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    整合數位全像與條紋投影方式應用於積體電路表面量測之研究
    (2021) 何思嘉; He, Ssu-Chia
    本研究為整合數位全像術(Digital Holography, DH)與條紋投影輪廓術(Fringe Projection Profilometry, FPP)兩技術於同一系統，透過此整合系統量測物體的三維表面，可達到比單一技術量測結果更加完整的三維表面資訊。如今晶片尺寸越做越小，對z軸解析度的要求越來越高，在量測樣本的深度變化時，DH的三維解析度比FPP更加精密，因此可以透過DH量到更精密的元件；FPP則可以量測漫射面的物體表面資訊，而且在量測階高物體上FPP略勝一籌，可以量測到階高物體的高度，最後整合兩技術之優點，將這兩者技術的量測結果整合，即可獲得高解析度、物體資訊更完整的三維複合表面階高物體結果。
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    條紋投影三維取像與校正及其360度建模之研究
    (2016) 張友維; Chang, Yu-Wei
    本論文主要探討條紋投影量測技術(Fringe Projection Profilometry)及其重建資訊的校正，以達到建立真實完整三維模型的目的。本文從討論條紋投影之應用領域作為出發，接著探討系統理論上之運作方式，依序介紹三角重建理論、弦波條紋相位擷取與相位展開。而隨著理論上與實際應用之差異性引入校正程序之介紹，從縱向深度校正開始，以多項式擬合方式建立「相位-縱深關係式」，將之應用於條紋相位提升深度量測精準度，接著使用相機校正的方式建構量測系統之立體座標空間，並將拍攝到之影像Pixel Index進行橫向校正，使得每一個像素點皆可映射為空間中之實際之座標點，達到建立量測結果三維座標值之目標，並達成50um之縱向準度與150um之橫向準度。完成單面量測之後，對於一個實際之完整物體可以進行完整三維模型之建立，以旋轉之方式對每個角度進行量測之後，經由校正旋轉軸方向與位置之方式來對單面進行旋轉以拼合為完整之360度立體模型，並在文末給出了實驗系統之精準度等數值與實際建立模型之範例。