學位論文

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    雷射退火系統及深層能階暫態能譜(DLTS)系統架設
    (2014) 李肇龍; Chao Lung Lee
    本論文是結合兩種，分別是Nd:Yag雷射退火和DLTS((Deep-Level Transient Spectroscopy)的系統架構。 Nd:Yag雷射可用於多方面，本論文是先討論雷射系統架構的方式，結合許多機台將其連結成系統後，之後在探討調整不同的雷射能量，所造成的退火效果，由於雷射能量高，發射速度快，再利用移動平台可以精準的控制想要退火的區域，有別於其他退火方式的不同，傳統退火需要整體上的退火，例如爐管，無法控制想要退火的區域，因此如何將雷射退火系統架構起來，是本論文的重點之一。 除此之外，本論文另外一個重點是利用DLTS的技術，可以應用於半導體的技術檢測，利用電子對電壓的反應來判斷元件是否優劣。本論文就以需要的量測需求，針對儀器的極限和能力將其可以運作成量測的系統，同樣也是將許多機台組合成一系統，使其發揮機台本身的價值，也是本論文的重點之一。 之後未來的目標，是希望可以將這兩種系統，能夠結合在一起，利用雷射系統來退火針對薄膜電晶體(TFT)，或是使用雷射結晶，之後連結DLTS的量測方式，用來檢視薄膜電晶體的內部缺陷，對於元件內的可以分析以及討論。