國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮吳俊緯2014-10-302014-10-302009-04-01http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37048一種陽極接合方法，包含下列步驟：(1)提供一矽基板；(2)提供一玻璃板，置放該矽基板上；以及(3)提供一上電極與一下電極，其中該上電極以一預設距離懸空於該玻璃板上，藉電弧為該玻璃板供應電流。