國立臺灣師範大學機電工程學系張秉書程金保楊燿瑜2014-10-302014-10-302002-07-011024-3895http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36790濺鍍真空鍍膜技術真空鍍膜技術簡介--濺鍍技術(sputtering)