國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮羅嘉佑李幸憲郭俊良2014-10-302014-10-302008-11-21http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37022晶圓穿孔陣列之光輔助電化學蝕刻特性研究Silicon wafer through-holes fabricated by photo-assisted electrochemical etching