國立臺灣師範大學機電工程學系;國立臺灣師範大學工業教育學系楊啟榮林明憲劉榮德湯杜翔2014-10-302014-10-302005-11-10http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/35378A novel electrochemical etching technique for fabricating microactuator in p-type silicon