國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮楊智仲王服賢黃茂榕林明憲2014-10-302014-10-302004-11-13http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36981全SU-8厚膜光阻式之微致動器研製