傅祖怡侯勁龍2019-09-052008-7-12019-09-052008http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN0695410036%22.&%22.id.&http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/102650本研究先以多晶鉭線材在真空退火下再次結晶,並以掃描電子顯微鏡(SEM)與聚焦離子束(FIB)系統檢視晶粒擴大現象,其蝕刻成針尖形樣品後,結構較為穩固,提高在場離子顯微鏡(FIM)觀察時的電場耐受度。而鉭線退火於壓力10-6~10-7 Torr下,以SEM觀測表面發現因殘餘氣體誘發的皺化結構,以FIM系統鋪氧測試多組退火參數,尚未發現皺化結構。而覆鈀鉭針以675°C~685°C退火觀察,可發現由3個{110}擴張聚向鉭(111)面的皺化結構。覆鈀鉭皺化覆鈀鉭針之皺化結構研究The faceting structures of Pd covered Ta tips