謝振傑潘柏翰2019-09-04不公開2019-09-042010http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN0697480059%22.&%22.id.&http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/98214本實驗使用的是尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶 (SrTiO3) (001)基板，經黃光製程使其形成階梯 (Step-edge) 式的基座來製作SQUID Magnetometer，之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製臨界溫度90 K以上的釔鋇銅氧薄膜，經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作，之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。高溫超導釔鋇銅氧SQUID