國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮程金保楊証皓施建富2014-10-302014-10-302005-11-10http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36988高溫暨高壓蝕刻機制應用於單晶矽非等向性濕式蝕刻之特性研究