國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮謝佑聖唐隆綾黃信瑀2014-10-302014-10-302004-11-26http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36983KrF準分子雷射於SU-8光阻之光刻特性與應用研究