江佩勳陳啟東Pei-hsun JiangChii-dong Chen蕭博唐Po-Tang Hsiao2019-09-052019-8-252019-09-052014http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN060141009S%22.&%22.id.&http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/102579在氣相沉積的石墨烯元件製備中，一般都會使用甲基丙烯酸甲酯（Polymethylmethacrylate，PMMA）作為轉移用的中間介質，但如何去除PMMA、光阻等聚合物的殘留物，避免影響石墨烯電性、鍵結等性質，一向是一個重要課題。我們發展出一種製程，透過舉離、壓印等方法盡可能地減少聚合物在製程中的參與，並用以製備石墨烯場效應電晶體、懸浮石墨烯奈米線等元件，並透過電性量測與拉曼光譜驗證石墨烯元件的品質。石墨烯轉印懸浮元件化學氣相沉積法graphenetransfersuspended devicechemical vapor deposition