國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮黃茂榕湯杜翔劉榮德2014-10-302014-10-302005-11-10http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36990整合奈米球微影及光輔助電化學蝕刻之高深寬比奈米柱狀陣列製作技術