國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮張淑芳吳俊緯李致輝2014-10-302014-10-302006-01-01http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37049一種陽極接合供電方法A power supply method for anodic bonding