國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮馬偉中謝建文謝佑聖李育德2014-10-302014-10-302001-12-07http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36966KrF雷射對PMMA-15% Diphenyl厚膜光阻之光刻特性探討