國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮蔡其成2014-10-302014-10-302003-11-15http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36974感光型聚偏二氟乙烯Poly(vinylidene fluoride) 壓電薄膜之製備與微影特性探討