國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮陳顯禎郭華皓李明承張明宗2014-10-302014-10-302006-11-30http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37007電化學蝕刻技術應用於靜電式微致動器之研製