國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮陳柏穎趙俊傑2014-10-302014-10-302003-04-011019-5440http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36950由於 21 世紀網際網路服務的超快速成長與多媒體化，人類已進入多媒體視訊圖像為主的寬頻傳輸時代，使得數據傳輸量的需求與日俱增，如何有效率地倍增網路傳輸容量已成為重要課題。透過微機電製程技術已實現將光開關微小化、積體化及陣列化的目標，並達到降低成本的批次量產能力。本文首先針對各種不同微光開關特性及應用加以比較，接著說明微機電製程於光開關製作之應用實例，最後再指出光開關適用性之基本評估要點。微機電製程光開關製作