國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮程金保王服賢張峻銘施建富2014-10-302014-10-302005-11-25http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36991SU-8厚膜光阻釋放技術靜電式微夾持器