國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮林明憲李明承2014-10-302014-10-302009-06-21http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37047一種懸空結構的製造方法,包含下列步驟:(1)提供一矽基板;(2)定義一圖形於該矽基板上,該圖形則具有一保留區與一蝕刻區;(3)以電化學蝕刻,是對該矽基板通以一電場並輔以一蝕刻液進行蝕刻,其中對該電場施以一第一電流密度,將該蝕刻區下方的矽基板去除,致使該保留區下方即形成一預備懸空結構,則該預備懸空結構具有一底部與該矽基板連接;以及(4)改變該電場的電流密度至一高於該第一電流密度的第二電流密度,藉以去除該底部,而使該預備懸空結構懸空於該矽基板上而成為一懸空結構。