國立臺灣師範大學機電工程學系林郁欣徐永裕楊啟榮胡一君周曉宇2014-10-302014-10-302005-03-09978-957-017-468-7http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37026感應耦合電漿離子蝕刻技術