國立臺灣師範大學機電工程學系楊啟榮楊智仲趙俊傑林郁欣2014-10-302014-10-302003-12-05http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/36980應用於微光開關之SU-8厚膜光阻微結構與致動器之研製