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Title: 一種陽極接合方法與設備
Authors: 國立臺灣師範大學機電工程學系
楊啟榮
吳俊緯
Issue Date: 1-Apr-2009
Abstract: 一種陽極接合方法,包含下列步驟:(1)提供一矽基板;(2)提供一玻璃板,置放該矽基板上;以及(3)提供一上電極與一下電極,其中該上電極以一預設距離懸空於該玻璃板上,藉電弧為該玻璃板供應電流。
URI: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/77345300/37048
Other Identifiers: ntnulib_tp_E0403_04_021
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