Please use this identifier to cite or link to this item: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/77345300/37047
Title: 一種懸空結構的製造方法
Authors: 國立臺灣師範大學機電工程學系
楊啟榮
林明憲
李明承
Issue Date: 21-Jun-2009
Abstract: 一種懸空結構的製造方法,包含下列步驟:(1)提供一矽基板;(2)定義一圖形於該矽基板上,該圖形則具有一保留區與一蝕刻區;(3)以電化學蝕刻,是對該矽基板通以一電場並輔以一蝕刻液進行蝕刻,其中對該電場施以一第一電流密度,將該蝕刻區下方的矽基板去除,致使該保留區下方即形成一預備懸空結構,則該預備懸空結構具有一底部與該矽基板連接;以及(4)改變該電場的電流密度至一高於該第一電流密度的第二電流密度,藉以去除該底部,而使該預備懸空結構懸空於該矽基板上而成為一懸空結構。
URI: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/77345300/37047
Other Identifiers: ntnulib_tp_E0403_04_020
Appears in Collections:教師著作

Files in This Item:
There are no files associated with this item.


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.