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Title: 全玻璃渾沌對流式微混合元件製作
Authors: 國立臺灣師範大學機電工程學系
楊啟榮
謝佑聖
唐隆綾
鍾武雄
施建富
Issue Date: 25-Nov-2005
Abstract: 微混合器為流體系統中十分重要之元件,於化學合成、生醫檢測及藥物輸送方面皆有廣泛的應用。玻璃基材具耐高溫、熱阻絕性佳、化學性質穩定與電性絕緣等優點,適於製作需高溫操作或分隔熱區功能之晶片。然而玻璃之深寬比受製程限制,因此混合元件設計上需將此限制加以考慮。本研究利用玻璃晶片為基材,建立玻璃深蝕刻與融熔接合之技術,製作能夠提供高溫操作、分隔熱區之被動式微混合晶片。並以流體數值分析法評估微混合器混合效果,具體實現立體c型渾沌對流式之混合器。製程方面建立蝕刻深度100μm以上的深蝕刻製程技術,並將Pyrex 7740之側蝕比則經由退火從2.52大幅改善至0.96。
URI: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/77345300/36992
Other Identifiers: ntnulib_tp_E0403_02_029
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