Please use this identifier to cite or link to this item: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/77345300/36945
Title: 微系統類LIGA製程光刻技術
Authors: 國立臺灣師範大學機電工程學系
楊啟榮
強玲英
郭文凱
林郁欣
林暉雄
張哲瑋
趙俊傑
Issue Date: 1-Feb-2001
Publisher: 財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心
Abstract: 微系統類 LIGA 製程在微結構的厚度、深寬比、精度方面雖不如 X-ray LIGA 製程,但在生產成本、耗時性、製程彈性方面卻遠優於 X-ray LIGA 技術。在 MEMS 應用領域次微米精度與極大深寬比並非絕對必要的前提下,類 LIGA 製程仍有其發展空間。本文將針對類 LIGA 製程光刻技術作通盤性的介紹,內容涵括標準 X-ray LIGA 製程、類 LIGA 製程的厚膜光阻 UV 微影技術、準分子雷射微細加工及感應耦合電漿離子蝕刻技術。
URI: http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/77345300/36945
ISSN: 1019-5440
Other Identifiers: ntnulib_tp_E0403_01_002
Appears in Collections:教師著作

Files in This Item:
There are no files associated with this item.


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.