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Title: 高溫超導量子干涉元件之研製與特性鑑定
Development of high-Tc superconducting quantum interference device
Authors: 洪姮娥
楊鴻昌
楊天瑋
Keywords: 磁量計
梯度計
離軸式脈衝雷射沉積法
Issue Date: 2013
Abstract: 本研究主要探討,利用10mm × 10mm × 0.5mm雙晶體(bicrystal)鈦酸鍶(SrTiO3)的基板製作高溫超導量子干涉元件(High-Tc DC-SQUID)其磁量計與梯度計的製程與特性上的探討。實驗中,利用離軸式脈衝雷射沉積法來鍍製高溫超導薄膜在鈦酸鍶(SrTiO3)基座上成長釔鋇銅氧(YBa2Cu3O7-x)薄膜,並經由光學微影及乾式蝕刻製程以完成High-Tc dc-SQUID的製作。藉由原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM )、 X-Ray繞射儀(XRD),確認薄膜的品質以及蝕刻完的YBCO臨界溫度仍可達到Tc = 85 K  ,比較出不同圖案的高溫超導量子干涉元件在特性上的差異。   本實驗在SQUID磁量計的特性測量,有5顆SQUID,Ic 約在160μA ~ 190 μA。Vpp大小約在20 μV~ 30 μV。在SQUID磁量計雜訊上,1 kHz值約35~45 μΦ0/Hz1/2左右,100 Hz值約135~150 μΦ0/Hz1/2左右。在SQUID梯度計的特性測量,有8顆SQUID。Ic 約在160μA ~ 400 μA。Vpp大小約在9 μV~ 18 μV。在SQUID梯度計雜訊上,1 kHz值約20~30 μΦ0/Hz1/2左右,100 Hz值約140~170 μΦ0/Hz1/2左右。
URI: http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=%22http://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN060048049S%22.&%22.id.&
http://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/98075
Other Identifiers: GN060048049S
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