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Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2004-06-01 | 新型紫外光厚膜光阻開發與應用 | 國立臺灣師範大學機電工程學系; 謝建文; 謝佑聖; 楊啟榮; 李育德 |
2001-01-01 | 微系統類LIGA製程與應用技術 | 國立臺灣師範大學機電工程學系; 楊啟榮; 強玲英; 郭文凱; 張哲瑋; 林暉雄; 謝佑聖; 李育德 |
2002-11-21 | UV-LIGA製程應用之正型厚膜光阻合成研究 | 國立臺灣師範大學機電工程學系; 楊啟榮; 謝建文; 謝佑聖; 李育德 |
2001-12-07 | UV-LIGA應用之新型厚膜光阻合成與微結構製作研究 | 國立臺灣師範大學機電工程學系; 楊啟榮; 謝建文; 謝佑聖; 李育德 |
2001-12-07 | KrF雷射對PMMA-15% Diphenyl厚膜光阻之光刻特性探討 | 國立臺灣師範大學機電工程學系; 楊啟榮; 馬偉中; 謝建文; 謝佑聖; 李育德 |
2002-07-31 | KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用(III) | 國立臺灣師範大學機電工程學系;國立清華大學化學工程系; 李育德; 楊啟榮 |
2000-07-31 | KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用 | 國立臺灣師範大學機電工程學系;國立清華大學化學工程系; 李育德; 楊啟榮 |
2001-07-31 | KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用(II) | 國立臺灣師範大學機電工程學系;國立清華大學化學工程系; 李育德; 楊啟榮 |
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