Browsing by Author "Chih-Chung Yang"

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    厚膜光阻製程應用於靜電驅動旋轉式微致動器之研製
    (2004) 楊智仲; Chih-Chung Yang
    SU-8厚膜光阻利用一般的微影製程，即可製作高深寬比的微結構。目前SU-8光阻主要是應用於LIGA電鑄製程之模板、熱壓成形之模仁、微光合成形、光波導、微流體應用流道或微機械結構等之材料，在直接將SU-8光阻作為微致動器結構材料的研究並不多見。本研究目的即是結合低成本的SU-8厚膜光阻製程與矽蝕刻釋放技術，開發一體成型之靜電式微致動器。利用SU-8厚膜光阻容易微影成形，及材質強度與熱穩定佳之特性，將其直接作為靜電式微連桿驅動機構的本體材料，不用電鑄程序翻製成金屬結構，可避免SU-8光阻去除性不佳的困擾。以SU-8光阻作為微致動器材料，其驅動反應速率將可大於金屬結構微致動器，減少驅動輸入功率的消耗。全SU-8厚膜光阻的製程與微結構，其優點為低成本、可降低微致動器因組裝所造成的誤差，利用間接驅動方式增加致動器的作動行程。製作完成之靜電式致動器，經局部結構釋放且鍍金屬膜後，成功地以直流150伏特電壓驅動。